并联结构位移台
技术参数
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型号 |
GCABZ-3 |
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轴名称 |
Z |
Rx |
Ry |
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行程 |
5mm |
±1.5° |
±1.5° |
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分辨率 |
0.1um |
2″ |
2″ |
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承载 |
5kg |
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光栅 |
可选 |
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适配晶圆 |
10寸（12寸可选） |
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真空吸盘 |
可选 |
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技术参数
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型号 |
GCABZ-3 |
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轴名称 |
Z |
Rx |
Ry |
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行程 |
5mm |
±1.5° |
±1.5° |
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分辨率 |
0.1um |
2″ |
2″ |
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承载 |
5kg |
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光栅 |
可选 |
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适配晶圆 |
10寸（12寸可选） |
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真空吸盘 |
可选 |
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